キタムラ機械、微細加工機を発売 温度変化抑え高精度
キタムラ機械は、高精度微細加工機「マイセンター―スーパーマイクロン」を発売開始した。クロスレールと一体鋳造のダブルコラム構造を採用。コラムには独自開発の温度制御媒体を封入して、加工中の温度変化の影響を抑えた。半導体のほか、精密金型や医療、光学などの分野での利用を想定している。価格は2980万円(消費税抜き)。
テーブルサイズは400ミリ×500ミリメートル、各軸移動量(X軸×Y軸×Z軸)は450ミリ×350ミリ×300ミリメートル。テーブル積載重量は125キログラム。最高主軸回転数は毎分4万回転、工具収納本数18本。
集塵機や防塵構造を備え、グラファイト加工や微細加工時に発生する細かい切粉の処理にも対応。暖機運転をしないコールドスタートからの連続加工においても熱変位の影響を抑制し、1マイクロメートル(マイクロは100万分の1)単位の安定した加工精度を実現した。