不二越、ＤＬＣコーティング装置　成膜速度最大150倍

不二越は従来機と比べ成膜速度を最大１５０倍に速めたダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）コーティング装置「ＳＭＶＰ―１０２０」を発売開始した。マイクロ波を利用した技術を採用することで、高密度プラズマによるＤＬＣ膜コーティングを超高速化する。半導体製造装置のバルブや継ぎ手、パイプ内面に加え、金型などの耐腐食化・耐摩耗化を実現する。価格はオープン。年間１０台の販売を目指す。
ＳＭＶＰ―１０２０では、マイクロ波を利用したコーティング技術「ＭＶＰ法」を採用した。高密度プラズマによるＤＬＣ膜コーティングの高速化で、外面コーティングでは毎時１５０マイクロメートル（マイクロは１００万分の１）を実現する。アーク法やスパッター法を採用した従来機と比べ、成膜速度は３０―１５０倍程度まで向上する。　
小径穴内面へのコーティングを可能にしたのも特徴の一つ。従来技術では困難だった直径３０ミリ×長さ５００ミリメートルや直径３ミリ×長さ１００ミリメートルといった小径穴への成膜にも対応できる。　
装置の据え付け寸法は幅２・１×奥行き２・０×高さ２・１メートル。成膜有効範囲は直径２５０ミリ×高さ５００ミリメートル。

ＤＬＣ膜は炭素を主成分とする非結晶質のカーボン物質膜。半導体製造装置や金型関連だけでなく、紡績機械のノズルや自動車部品、アルミニウム切削用ドリル、ガラスなどに幅広く使用されている。