トップ機械・ロボット・航空機２記事詳細 カイジョー、ダメージ抑え高洗浄　半導体向け超音波装置

カイジョーは、超音波を印加した液膜を形成する独自の接液洗浄方式による振動発信装置「ＱＵＡＶＡ　Ｍ」を市場投入する。同方式は高い洗浄効果と対象物へのダメージ低減を両立する点が特徴。新機種の投入で今後控える半導体工場での新規需要に対応する。

同システムは振動素子（ＰＺＴ）と石英製振動板を組み合わせ、液膜に均一な超音波エネルギーを付与。洗浄対象に応じた繊細な処理を可能にした。

発振器は９５０キロヘルツと３メガヘルツ（メガは１００万）の２周波を切り替え可能。０・１ワット単位での出力調整に加え、最適周波数を自動追尾するＰＬＬモードを搭載し、安定した洗浄プロセスを実現する。警告信号機能により振動子と被洗浄物の最適距離を維持し、超音波エネルギーの効率的な伝達を支援する。ホストコンピューターとの連携で、出力制御や状態監視も常時行えるほか、交流（ＡＣ）１００―２４０ボルトのフリー電源にも対応する。

振動子「ＱＵＡＶＡ　Ｍｅｇａ　Ｐｕｃｋ」は半導体ウエハーの精密洗浄をはじめ、レジスト剥離やエッチング後の残さ除去など幅広い用途に対応する。被洗浄物との近接配置で、高周波領域でも安定した稼働ができる。